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產(chǎn)品展示

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激光干涉儀Fresnel-03

  • 產(chǎn)品型號:
  • 產(chǎn)品時間:2025-08-27
  • 簡要描述:激光干涉儀Fresnel-03可進(jìn)行皮米級高速測距,配備3個測量通道,能獨立測量3個線性運動自由度,還有多款緊湊光纖探頭,適用于多種測量,以及多自由度高精度測量,配合數(shù)據(jù)接口可作位置傳感器精確控制位置。光纖探頭有極*環(huán)境兼容版本可選,產(chǎn)品特點包括皮秒級分辨率、高速采集與測量、3D測量及靈活定制。
  • 產(chǎn)品介紹

激光干涉儀Fresnel-03

Fresnel-03 激光干涉儀可進(jìn)行皮米級高速測距。該產(chǎn)品配備 3 個測量通道,可獨立測量 3 個線性運動自由度。同時,設(shè)計有多款尺寸極為緊湊的光纖探頭,可分別用于面測量、點測量、線測量以及差分式測量。通過 3 通道測量結(jié)合,用戶能夠?qū)崿F(xiàn)對多自由度線性及旋轉(zhuǎn)位移的高精度測量,  配合豐富的數(shù)據(jù)傳輸接口,用戶可以將激光干涉儀作為位置傳感器使用,進(jìn)行位置精確控制。

此外,為滿足用戶在極*環(huán)境下的實驗需求,光纖探頭還提供超高真空、極低溫、強磁場兼容版本可選。

產(chǎn)品特點

激光干涉儀Fresnel-03產(chǎn)品參數(shù)

以下是 Fresnel - 03 激光干涉儀的關(guān)鍵規(guī)格匯總,數(shù)值為嚴(yán)格表征測量所得的典型結(jié)果。 性能會因具體應(yīng)用和配置而異,如需個性化指導(dǎo), 請聯(lián)系卓立漢光。

Fresnel - 03 激光干涉儀

通道數(shù)

3

工作距離

0 - 10 m

精度

< 10-7 m/m(受波長精度影響)

周期性非線性

4 nm (p-p @ 5 cm)

分辨率

0.03 nm(@ 5 cm)

最大目標(biāo)速度

3.8 m/s

最大帶寬

5 MHz

最大數(shù)據(jù)速率

10 MHz

目標(biāo)反射率

4% - 100%

測量激光器

(1545 ± 15 nm,1 級)

導(dǎo)引激光器

(650 ± 15 nm,1 級)

輸出接口

TCP/IP、BiSS-C、正交模擬信號

噪聲表征—工作距離

位置噪聲來源于多種因素,包括控制器電子設(shè)備以及外部因素, 如溫度漂移、機械振動和空氣波動。對這些因素進(jìn)行適當(dāng)?shù)囊种茖τ跍?zhǔn)確評估設(shè)備性能至關(guān)重要。位置噪聲通過噪聲功率譜密度(NPSD)來量化,并在特定頻率范圍內(nèi)進(jìn)行積分以計算均方根(RMS)噪聲值,如公式(1)所示。

該公式在指定頻域內(nèi)對噪聲進(jìn)行了全面衡量。具有固有線寬的分布反饋(DFB)激光器會產(chǎn)生相位噪聲,這在較大工作距離下對位置噪聲產(chǎn)生顯著影響。實驗測量結(jié)果表明,如圖 1 所示,工作距離與噪聲底之間呈線性關(guān)系。

圖 1:不同工作距離下,在頻率范圍(1 kHz 至 10 kHz)內(nèi)的均方根(RMS)噪聲。噪聲隨工作距離線性增加,歸因于激光相位噪聲的貢獻(xiàn)。

位置測量分辨率

位置測量分辨率指的是可檢測到的最小位移變化。 Fresnel-03 激光干涉儀的高分辨率性能通過壓電掃描臺進(jìn)行驗證,該掃描臺被編程執(zhí)行了一段往復(fù)運動序列, 共計 10 個步驟,以每 秒 1 nm 和 2 nm 的步長移動。測量工作在距反射器 150 mm 處進(jìn)行,同時確保光學(xué)傳感器頭精確對準(zhǔn)。

圖 2 展示了測量結(jié)果,帶寬為 50 Hz。每一步的平均位置數(shù)據(jù)點均通過對 1000 個單獨數(shù)

據(jù)點進(jìn)行平均計算獲得。在 0.01 至 1 MHz 的頻率范圍內(nèi),噪聲功率譜密度(NPSD)被計算為 0.032 nm,充分體現(xiàn)了系統(tǒng)的精度。

圖2:以 1 nm 和 2 nm 步 長 分 別 進(jìn) 行 的 10 步 往 復(fù)測量。測量在距反射器 150 mm 處進(jìn)行,光學(xué)傳感器頭精確對準(zhǔn)反射器中心。測量帶寬為 50 Hz, 每一步的平均位置數(shù)據(jù)點均通過對該步內(nèi)所有單獨數(shù)據(jù)點(共 1000 個)取平均值計算得到。

根 據(jù) 公 式(1),在 整 個 頻 率 范 圍(0.01–1 MHz)內(nèi)計算得到的噪聲功率譜密度(NPSD)為 0.032nm。

周期性非線性誤差

激光干涉儀中的周期性非線性會引入系統(tǒng)誤差,從而降低測量的準(zhǔn)確性和精度。這些誤差源于相位檢測中的不完善之處,如相位混合、光學(xué)對準(zhǔn)不當(dāng)以及電子失真。

Fresnel-03 干涉儀表現(xiàn)出卓*的性能,在工作距離從 0 到 10 m 的范圍內(nèi),其周期性非線性(峰峰值)小于 4 nm。

這一性能通過圖 3 中的李薩如圖形直觀地得到了驗證, 該圖將實際測量數(shù)據(jù)與理想圓形擬合進(jìn)行了對比。

圖 3  Fresnel-03 激光干涉儀測得的李薩如圖形,與理想圓形擬合結(jié)果對比。

測量在工作距離 5 cm 下進(jìn)行。

激光安全

Fresnel-03 干涉儀被歸類為 1 級激光產(chǎn)品。雖然其設(shè)計本身確保對眼睛具有固有的安全性, 但建議用戶避免激光直接照射眼睛和皮膚。未使用時,光學(xué)端口應(yīng)始終覆蓋防護(hù)帽,以防止污染和潛在損壞。

為確保安全操作,用戶必須熟悉儀器及激光輻射的特性。遵循這些預(yù)防措施不僅可確保設(shè)備的優(yōu)良性能,還能最大限度地降低潛在風(fēng)險。

配套產(chǎn)品

聚焦型探頭: 當(dāng)測量目標(biāo)為平面或測量距離較短時,  聚焦型探頭可提供更高的角度容忍度,  并支持較小的測量面積,適用于精確測量。

線型探頭: 適用于旋轉(zhuǎn)圓柱形物體的偏心測量??稍谳^大的角度范圍內(nèi)工作, 并且對旋轉(zhuǎn)軸的傾 斜或翻轉(zhuǎn)不敏感,確保測量結(jié)果的穩(wěn)定性。

準(zhǔn)直型探頭: 適用于長距離測量或后向反射器的測量。該探頭具有多種外形尺寸和光斑大小, 能夠確保精準(zhǔn)的光束傳輸與測量。

差分型探頭: 利用開放式的參考臂設(shè)計,能夠同時實現(xiàn)兩個目標(biāo)之間的相對位移測量。

環(huán)境補償單元 (ECU): 實時監(jiān)控環(huán)境折射率,對測量絕對距離進(jìn)行修正。


聚焦型探頭 FB-FP-PC-50

線型探頭 LF-FP-PC-50

光斑尺寸

30 μm

50 μm x 3.5 mm

焦距

50 mm

50 mm

工作距離

50 mm

50 mm

光束幾何形狀

點聚焦

線聚焦

尺寸

φ11 x 30 mm

φ11 x 40 mm

重量

9.5 g

12.3 g

靶面

反射鏡

反射鏡、中空回射器

連接器

FC/PC

FC/PC


準(zhǔn)直型探頭 CB-MI-APC-5000

差分型探頭 DF-MI-APC-5000

光斑尺寸       

       3.5 mm

    3.5 mm

 

焦距

0.4 mrad

0.4 mrad

工作距離

50 - 5000 mm

50 - 5000 mm

光束幾何形狀

圓形

圓形

尺寸

Φ11 x 36 mm

Φ11 x 36 mm

重量

11.2 g

11.2 g

靶面

反射鏡、中空回射器

反射鏡、中空回射器

連接器

FC/APC

FC/APC

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